日本废气处理环保设备
来源:www.huanbaole.com 编辑: 环保网 时间：2025-09-11点击：
一、电热式废气处理系统
采用电加热器作为热源，结合水洗喷淋技术，专为PE-CVD、LP-CVD等工艺设计。其中KT1000MOC型号可处理MO-CVD设备产生的大流量NH3、H2，通过高温氧化分解实现零化石燃料消耗。其核心优势包括：
二、康肯（Kanken）废气处理解决方案
这家成立于1978年的日本企业专注于半导体和光伏行业废气处理，其产品特点包括：
1. KT1000FA：热电式设计处理SiH4、SiH2Cl2等半导体前段制程气体，相比燃烧式减少CO2排放
2. KT1000HA：可处理导致温室效应的NF3、C2F6等气体，工作温度达1100℃以上
3. 全球布局：在日本、中国大陆及台湾设有生产基地，服务12寸晶圆生产线市占率领先
三、荏原（Ebara）湿式处理设备
G-WS型设备采用水溶性气体处理技术，特点为：
四、其他技术路线
日本企业通过电热式、热电式、湿式及等离子等多技术路线，为不同工业场景提供定制化废气处理方案，其设备普遍具备长寿命（如KT1000FA使用超7年未退役）和模块化设计特点。